主要技术指标(SFJ-251/251B/251C):
最小可检漏率: 5×10-12/8×10-13/2×10-11Pa·m3/s
漏率显示范围: 1×10ˉ3~1×10ˉ12/1×10ˉ3~1×10ˉ13/1×10ˉ4~1×10ˉ11Pa·m3/s
启动时间: ≤5min/2min/5min
响应时间: ≤2s/1s/2s
检漏口最高压力: 1000Pa/2000Pa/300Pa
极限真空: 5×10-4Pa
外形尺寸: 700(W)×580(D)×800(H)
优势:
全自动控制操作模式,操作方便,检漏腔关闭,仪器自动○开始检漏;
速度快,可根据检漏要求调整节拍速度,自动打开腔门;
人性化设计,带◤液晶显示、检漏结果清晰、可带微打;
关键部件采用进口,性能稳定、可靠。
配置(SFJ-251/251C):
进口复合型分子泵
莱宝机械泵
进口电磁阀
进口〇放大器
配标准漏孔
液晶显示
配置(SFJ-251B):
采用INFICON成套质谱模块