SFJ-261型氦质谱检漏仪是我公司和inficon合作开发而成的产品,采用inficon技术,设备内芯使用inficon成套质谱模▂块,SFJ-261型氦质谱检漏仪尤其适用◤于半导体工业精确检漏的要求,具有启动快速、移动方便、灵敏度高、性能稳定等优点,在定期维护、临时检修气体管路和其♀他检漏应用中可快速提供检测结果。 主要技术指标:
最小可◣检漏率:8×10ˉ13Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-2~1×10-1212Pa·m3/s
启动时间:≤2min
响应时间:≤1s
检漏口最高压力:≤2000Pa
外型尺寸:340(W)×670(D)780(H)
优势:
1.无油式设计,所有的部件均无油,并在无油的条件下组装和测试
2.方便的移动式↑设计,低重心、位置适当的把手和光滑的轮廓确保在工作场所随意卐地移动
3.可靠性甚高的真空系统,包括干式的机Ψ 械泵以及高压缩比的复合型◤分子泵
4.液晶显示的版面设计,让⊙检测结果更清晰
SFJ-261型氦质谱检漏仪将广泛的应用于半导体工艺设备的维护∞、工业气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试及要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试♀条件下的应用场合。