仪器介绍
ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，采用进口涡轮分子泵作主排气机，辅助系统采用进口机械泵排气，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用逆扩散方式进ζ 行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在50～10-1 Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10-1～2×10-12 Pa·m3/s。仪器采用光柱和数码管直↑接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m3/s、Torr·L/s、mbar·l/s、atm·cc/s）,读数方便,仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。本仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏发）、背压法检漏。其中ZLS-26D型军品已通过二炮验证，开始批量为其专◥供配套
主要特点
1.机内采用进口涡轮分子泵作主排气机。
2.启动快（仅五分钟即可使用）。
3.采用光柱和数码管直接显示漏率。
4.四种常用单位显示，读数方便；设有音响报警装置
技术参数
1.测量范围：2×10-1～2×10-12 Pa·m3/s
2.最小可检漏率：优于5×10-12 Pa·m3/s
3.最大可检漏率：2×10-1Pa·m3/s
4.漏率显示范围：2×10-1～2×10-13 Pa·m3/s 
