发布日期：2009-7-22
LightMachinery公司成立于2002年，前身为Lumonics公司。2008年收购了英国GSI公司全套准分子激光产品线，成为了最著名的大型准分子激光供应商。
?1. 一体化金属陶瓷腔技术，保证长的气体寿命及激光腔寿命
?2. 腔内气体净化装置及软预电离技术保证高质量的激光光斑输出及稳定的激光能量输出
?3. 重载光学支架及专利的keyed-optic design 保证了激光光点的稳定性光学元件的稳固性
IPEX系列产品
IPEX-840系列
型号
工作气体
ArF
KrF
XeCl
XeF
波长(nm)
193
248
308
351
最大＠ 脉冲能量(mJ)
IP-848/846
200
400
250
225
最大平均功率(W)
IP-848
40
80
50
45
IP-846
20
40
25
22
最大重复频率(Hz)
IP-848
200
200
200
200
IP-846
100
100
100
100
脉冲宽度(ns)
12-20
光斑大小(mm)
12×26
发散角(mrad)
1×3
IPEX-860系列
型号
工作气体
KrF
XeCl
XeF
波长(nm)
248
308
351
最大脉冲能量(mJ)
IP-866/864
600
350
300
最大平均功率(W)
IP-866
60
35
30
IP-864
30
17
15
最大重复频率(Hz)
IP-866
100
100
100
IP-864
50
50
50
脉冲宽度(ns)
12-20
光斑大小(mm)
8-12×27
发散角(mrad)
1×3
应用：DWDM应用的布拉格光纤光栅的刻写，电路板修复，坚硬材料如金属、陶瓷的微加工，薄的金属膜层的图案刻画，医用塑料如聚亚安酯输尿管的加工，PLD等。
PulseMaster系列产品
PulseMaster-840系列
型号
工作气体
ArF
KrF
XeCl
XeF
波长(nm)
193
248
308
351
最大脉冲能量(mJ)
PM-848/846/844/842
230
450
300
275
最大平均功率(W)
PM-848
30
80
50
45
PM-846
15
40
25
22
PM-844
6
20
12
11
PM-842
3
10
6
6
最大重复频率(Hz)
PM-848
200
200
200
200
PM-846
100
100
100
100
PM-844
50
50
50
50
PM-842
25
25
25
25
脉冲宽度(ns)
12-20
光斑大小(mm)
8-12×26
发散角(mrad)
1×3
PulseMaster-860系列
型号
工作气体
ArF
KrF
XeCl
XeF
波长(nm)
193
248
308
351
最大脉冲能量(mJ)
PM-866/864
250
650
400
350
最大平均功率(W)
IP-866
10
30
20
18
IP-864
5
15
10
9
最大重复频率(Hz)
IP-866
50
50
50
50
IP-864
25
25
25
25
脉冲宽度(ns)
12-20
光斑大小(mm)
12×27
发散角(mrad)
1×3
准分子激光应用：
小型准分子激光器
ATL是专门生产准分子激光器的公司，性能稳定、操作简单、性价比高而备受●科研和眼外科、激光微加工设备厂家和科研用户的青睐。
主要优点：
?1. 采用高品质光腔材料，减少清▼洗次数，独特的设计大大缩短每次腔镜清洗的时间。
?2. 有恒定々能量、恒定电压两种激光输出控制方式。激光器自动充、换气体，保证稳定的能量输出，并带有检测装置。
?3. 采用空气制冷，操作☆更简单方便。
气体介质
F2
ArF
KrF
XeCl
XeF
波长
157nm
193nm
248nm
308nm
351nm
最大脉冲能量
1mJ
13mJ
20mJ
10mJ
7mJ
最大平均功率
0.5W
6W
10W
5W
2.5W
最大重复频率
300Hz/500Hz
脉冲宽度
4-6ns
光斑尺寸
4x6mm
光束发散角
2x1 mrad
能量稳定性
3%
外形尺寸
540x470x370mm
