特点：
◆国内最大抽速分子泵；
◆采用高强度锻造铝合金制造叶片；
◆轴承寿命长；
◆转速可调；
◆独有设计，可现〗场更换轴承；
◆矮形泵，节省空间；
◆润滑油液位光电保护（可选）；
◆配套电源可实现：
。RS-485通讯接口
。停电后来电频率跟踪启动（可选）
。停泵刹车
◆适用于获得清洁的超¤高真空。
技术参数：
极限压力：l×l0-8Pa
抽 速：＞ 4000 l/s
转 速：16000 r/min
压缩比：N2：＞108
振动值：≤0.15μm
电机功率：1.5KVA
启动时间：15min
停车时间：30min
安装方式：垂直安装±5°
入口法兰：DN400KF DN400CF
出口法兰：DN1OOKF
泵 高：400mm
产品优点：
1. 用于镀膜、半导体、冶金等工业以及研究方面多种用途的免维护高性能≡涡轮分子泵
2. 可以配置小的前级泵，降低系统成本
3. 提供更长的分子泵维修间隔，可以→现场更换分子泵轴承
适用领域：
1. 半导体生产 2.真＠空处理技术 3. 镀膜制灯行业 4. 研发及化工々行业
