COMPACT TURBO
属高性能分子泵,适用于工业◎及研究领域。
● 泵与控制器模组化,抽气速率高达2200L/s
● 极限压力:<1×10-10mbar,易于操作
● 模组化设计,具有高灵动性
CORROSIVE TURBO
抗腐蚀性分子泵,适用于具有特殊制程及高要求的工业范畴
● 抽气速率最高达2200L/s,特殊表面涂层,具有防腐蚀性
● 可外接净化气体,入氮气,长时间运行
MAGNETI TURBO
磁悬浮分子泵,适用于工业及研究领域
● 低振动性,可在任何方位安装
● 抽气速率最高达2200L/s,极限压力:<1×10-10mbar
● 可外接净化气体,例如氮气
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