美国AEP Technology公司主要从事半导体生产检测设备, MEMS生产检测设备, 光学生产检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。该公司生产的NanoMap500LS系列接触/非接触三维表面形貌仪，是目前功能极强的全新表¤面三维轮廓仪，具有很高的精密度和准确度，既用来获得样卐品表面垂直分辨率高达0.1nm的三维形态和形貌，又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面≡积和体积等参数。
所有测量都是非破坏性和快速的，样件无须专门处理，在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从1nm 到10mm。由于采用独特的缝合技术，无论→怎样的表面形态、粗糙程度以及样品尺寸，一组m×n图像可以被缝合放大任何倍率，在高＠分辨率下创造一个大的视场，并获得所有的被测参数。NanoMap500WLS非接触三维表面形貌仪的应用领域覆盖了薄々膜/涂层、工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。
提供了二维分析、三维分析、表面纹♀理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一□维分析、数据输出、数据自动︼动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处∮理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过◤滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。
主要功能：
◆微观二维（2D）和三维(3D)形貌』轮廓获取
◆多种测量功能
将采样数据运算后,可获得精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环∮状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。
