HP4062UX半导体工艺控制系统是为了PCM(process control module)测试而推出的一种组合式产品.HP4062由HP4142、HP4280~4284(LCR测试)、HP4084、4085(matrix 矩阵)组成.
HP4062UX 半导体工艺控制系统是HP4062半导体参数测试系统系列中的高端产品.它可以满足集成电路制造业在工艺监测和工艺开发两方面的所有需求.HP4062UX的硬件系统▲配置和HP4062C相同,因此『可以提供和HP4062C一样的高精度和高可靠性测试.
