一 主要用途:
用于金属材料的高温退火。
二 技术指标:
系统真空度:极限真空:8×10-7Pa;恢复真空:5×10-4Pa(2h),5×10-6Pa(6h)
工作真空:8×10-5Pa(1000℃退火温度下).整个系统漏率小于2×10-8Pa·L/S
程序控温:升温速率0.1℃~30℃ /min可控温度变化范围:常温~1500℃
温度控制精度:常温~800℃,±1℃;801℃~1500℃,±1.5℃;1000℃温度持
续时间不少于20小时,均温区尺寸不小于φ80×120(mm)
气体保护:一路进气,H2;流量: 0~50sccm
三 系统组成:
主要由真空☉抽气机组、真空室、加热控温系统、电动Ψ升降系统、液氮冷阱、
台架等组成。