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技术指标:
极限真空度：极限真空：6.7×10-5Pa；工作真空：6.7×10-4Pa（2h）
样品加热温度：室温～300℃，控温精度±1℃，温度可控可设可调
坩埚蒸发温度：最高1400℃；样品升降距离：±50mm
质量流量计共两路：一路为Ar,流量范围0～100sccm
一路为H2流量范围0～20sccm
系统组成:
主要由真空机组、真空主室、真空副室、样品台（可升降、加热、水冷）、
微波源、气路系统、喷射小孔及挡板、加热◥控温系统、Be蒸气加热系统、
电控系统、台⌒架等组成。
