一分pk10
<tr id='G3Elrd'><strong id='G3Elrd'></strong><small id='G3Elrd'></small><button id='G3Elrd'></button><li id='G3Elrd'><noscript id='G3Elrd'><big id='G3Elrd'></big><dt id='G3Elrd'></dt></noscript></li></tr><ol id='G3Elrd'><option id='G3Elrd'><table id='G3Elrd'><blockquote id='G3Elrd'><tbody id='G3Elrd'></tbody></blockquote></table></option></ol><u id='G3Elrd'></u><kbd id='G3Elrd'><kbd id='G3Elrd'></kbd></kbd>
系统◣极限真空度5×10-4Pa可实现在氮气保护下的样品高温退火
(退火温度1500℃，控温精度±2℃)及RF溅射对样品进行气相沉积。
四路质量流量计控制，流量：0～200sccm
系统为PECVD及管式加热炉设备，主要由真空抽气及测量系统、
RF反应室系统、RF气相沉积系统、可调节样品加热台、试验气体控
制系统、管式加热炉系统、电控及水压报警系统等组成。
