| X & Y马达平台工作范围 | 150毫米(其他尺寸可按要求定做) |
| Z轴范围 | 20毫米(内置手动千分尺调节工作距离，马达自动调节选配) |
| 最大数据采集速度 | 最大30,000数据点/秒 |
| 最大X,Y轴向速度 | 20毫米/秒 |
| 测量范围 | 工作距离(mm) | 轴向分辨率，精度(nm) | 斑点直径(µm) | 横向分辨率(µm) | 最大倾斜角度** | 最小测量厚度(µm) |
| 20µm | 0.37 | 2, 10 | 3 | 1.5 | 48° | 12 |
| 130µm | 3.3 | 5, 20* | 2* | 1.1* | 43° | 7* |
| 300µm | 5.68 | 10, 90 | 7.4 | 3.7 | 25° | 25 |
| 350µm | 12.7 | 10, 60 | 7 | 3.5 | 27° | 25 |
| 400µm | 11 | 12, 60 | 2.6* | 1.3* | 28° | 15* |
| 1mm | 23.9 | 30, 300 | 14 6 | 6 | 24° | 23 |
| 1.2mm | 12.7 | 25, 200 | 4 | 2 | 27° | 25 |
| 3mm | 26.9 | 100, 600 | 25 | 12.5 | 12° | 220 |
| 3.5mm | 16.4 | 75, 400 | 8 | 4 | 22° | 60 |
| 10mm | 66.9 | 300, 900 | 51 | 25.5 | 12° | 425 |
| 12mm | 29 | 280, 900 | 16 | 8 | 14° | 200 |
| 24mm | 222.3 | 1500, 3000 | 100 | 50 | 5° | 1570 |
| 27mm | 19.6 | 600, 3000* | 16 | 8 | 8.6° | 590 |
| 2 - 100µm (干涉测量法) | 42 | 10, 100 | 20 | 10 | 7 | 2 |
