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MK (NanoCal-2000)
科睿技术发展有限公司
详细说明
光干涉薄膜测厚仪
原产国：德国
薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系〒数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
该产品是一款价格适中、功能强大的膜厚测量仪器，近几年，每年的全球销售量都超过200台。根据型号不同，测量范围可以从10nm到250um，它最高可以同时测量4个膜层中的3个膜层厚度（其中一层为基底材料）。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。
应用领域
理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们最熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：
□ 晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；
□ 晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；
□ DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；
□ MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm)；
□ DVD/CD涂层；
□ 光学镜头涂层；
□ SOI硅片；
□ 金属箔；
□ 晶片与Mask间气层；
□ 减薄的晶片(< 120µm)；
□ 瓶子或注射器等带弧度的涂层；
□ 薄膜工业的在线过程控制；等等…
软件功能
丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。
软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。
软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。
软件带有构建材料结构◆的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。
软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维¤的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。
硬件升级
RTL透明样品专用夹具 用于曲面结构的CSH探头
显微镜配适器
不同型号及规格
NanoCal-VIS 波长400 -850 nm, 膜厚50 nm.-20 μm (如SiO2 on Si)
分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR 波长650 -1100 nm, 膜厚70 nm.-70 μm
分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-VIS/NIR 波长400 -1100 nm, 膜厚50 nm.-100 μm (选配1um-250um)
分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-UV/VIS 波长250 -850 nm, 膜厚10 nm.-20 μm
分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-FULL 波长250 -1100 nm, 膜厚10 nm.-70 μm
分光计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-NIR-HR 波长700 -978 nm, 膜厚1um-250um(选配400um)，高分辨分光
计，A/D转换器，USB和RS232接口，卤素光源，反射探针，软件
NanoCal-512-NIR 波长900 -1700 nm, 膜厚50 nm.-200 μm InGaAs-512阵列分光 计，A/D转换器，USB和RS232接口，高能卤素光源，反射探针，软件
NanoCal 软件 单层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境；
NanoCal MS 软件 多层膜测量、模拟、分析，支持Windows环境
NanoCal Mapping软件 配合6”或12”扫描台使用，完全3D数据；
NanoCal Online软件 在线原位分析软件；
NanoCal Remote软件 远程控制软件模块
多通道测试，最多支持8个独立的同时测试 6英寸、12英寸ぷ扫描样品台
