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.加工直径350mm,可扩充至450mm .8.6nm超精玻璃光栅反馈 .精度0.05um高刚性空气主轴 .可实现非球面面型加工，并可加工多种复杂光学零件 .加工精度：面型误差优于0.15um,粗糙度优于5nm
