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技术参数
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：64mm，厚度：0.12mm (大约) 2.真空室：直径：160mm，高：120mm 3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：64mm，最大放置样品数量：16个， 可以根据需要上下调节。 4.最高真空度：≤10-2 Torr 5.最大电流：100mA 6.最☉长定时时间：900S 7.最高电压： -3000V 8.机械泵：2升/每秒，AC 220V 靶材可按用户要求加工制作
主要特点
轻便、溅射面积大
