摘要：本实用新型涉及一种电感耦合等离子炬的自动阻抗匹配装置，包括依次电连接的高频功率输入单元、阻抗检测器、鉴相器、调整阻抗电容器和控制器，调整阻抗电容器并联有调频电容器，调整阻抗电容器和调频电容器之间连接有高频¤线圈，控制器与阻抗检测器之间连⌒ 接有第一执行机构，控制器与调频电容器之间连接有第二执行器，阻抗检测器和鉴相器分别监测高频功率输入单元的输→出端的阻抗绝对值和相值并发送至控制器，控制器根据采集到的阻抗绝对值和相值数据发送指令▲到第一执行器和第二执行器，第一执』行器和第二执行器分别调控调整阻抗电容器和调频电容器的电容值▓以接近标准值。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京海光仪器有限公司;
- 发明人杜江;张德元;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙▽桥东路1号M3楼
- 申请号CN201520648202.7
- 申请时间2015年08月26日
- 申请公布↘号CN204887662U
- 申请公布时间2015年12月16日
- 分类号H05H1/24(2006.01)I;
