摘要：本实用新型公开『一种0.1μm分辨率三坐标测量机，包括：载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带绝对光栅尺、读数头和▼水平桥，所述主动活动臂、从动活动臂分别设置于载物平台两侧，所述主动活动臂、从动活动臂各自的上端之间固定有所述水平桥，此水平桥位于载物平台正上方；所述钢带绝对光栅尺安ぷ装于机床上且其与沿x向方向平行设置，所述读数头设在工作台上，所述钢带绝对光栅尺与工作台运动方向平行，所述读数头随所述工作台移动，并通过位于读数头≡内部的光电传感器扫描所述钢带绝对光栅尺上的增量光栅获←得位移量，所述增量光栅中〇穿插有若干个绝对参考点。本实用新型有效消除往复测量误差和机№械配合误差，同时因使用光扫描测量法而具备良好的抗污染能力和长期稳定性。
- 专利类型实用新型
- 申请人苏州怡信光电科技有限公司;
- 发明人陆庆年;陈易辉;
- 地址215151 江苏省苏州市新区枫桥工业园前桥路288号
- 申请号CN201520692789.1
- 申请时间2015年09月09日
- 申请公布号CN204881519U
- 申请公布时间2015年12月16日
- 分类号G01B11/00(2006.01)I;
