摘要：本实用新型提供了一种实现低能大面积电子束测量的法拉第筒，包括本体，位于本体上方的前栅网，位于前栅网下方的抑制极栅网，位于本体底部的多个小孔深筒。本实用新型的法拉第筒，前栅网用来屏蔽外场干扰，抑制极栅网用来抑制二次电子，底部小孔深筒用来抑制反射电子对测量的影响，从而实现低能大面积电子束的测量。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京高能科迪科技有←限公司;
- 发明人张华顺;赵涛;
- 地址100088 北京市海淀区紫竹院路广源闸5号299室
- 申请号CN201220581672.2
- 申请时间2012年11月07日
- 申请公布号CN202995047U
- 申请公布时间2013年06月12日
- 分类号G01T1/29(2006.01)I;
