摘要：本发明提供了一种结构简单、操作方便的极低能、大面积、小散角、大动力学范围可调的极小束流电子束装置，包括依次设置的带栅极和引出极的电子枪、第一单电位透镜、第二单电位透镜和两个栅网；两个栅网之间形成减速间隙；所述第一和第二单电位透镜之间设有导向偏转板，第一单电位透镜在两对偏转板之间聚焦成像，所述第二单电位透镜的焦点位于该成像处。本发明的低能电子束装置，在整个飞行路程中束始终保持在高能量状态，从而避免了极低能量束在外磁场干扰下的严重偏移●和各种二次效应的影响；此外，当能量改变时，只需调＠节能量值，输出的总是平行束，不♀仅调节简便，而且大大提高了装置的重复性和可操作性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京高能科迪科技有限公司;
- 发明人张华顺;赵涛;
- 地址100088 北京市海淀区紫竹院≡路广源闸5号299室
- 申请号CN201210439555.7
- 申请时间2012年11月07日
- 申请公布号CN103811244A
- 申请公布时间2014年05月21日
- 分类号H01J33/00(2006.01)I;
