摘要：本实用新型涉及一种板平面度测量装置，所述装置包括：运动控制装置，用于控制X、Y、Z三轴运动；激光测量装置，用于测量板距离激光头的高度；计算软件装置，用于根据计算公式验证板平面度是否在合适范围内；显示装置，用于显示运动状态，输出平面度测量的∴结果；三轴运动装置，所述三轴运动装置为X轴、Y轴、Z轴组成；所述激光测量装置与三轴运动装置Z轴机械固定连接，所述计算软︾件装置与运动控制装置、激光测量装置及显◥示输入装置电性连接，所述显示输入装置与运动控制装置电性连接，所述运⊙动控制装置与三轴运动装置电性连接。该装置测量简单、快速、准确度高，并自动输出测量结果，方便使用。
- 专利类型实用新型
- 申请人深圳众为兴技术股份有限公司;
- 发明人李波;王晓刚;曾逸;
- 地址518052 广东省深圳市南山区艺园路马家龙田厦产业园5楼
- 申请号CN201120498179.X
- 申请时间2011年11月25日
- 申请公布号CN202420447U
- 申请公布时间2012年09月05日
- 分类号G01B11/30(2006.01)I;
