摘要：本实用新〒型涉及一种用于测量角速度的全解耦电容式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性】传感器技术领域。立柱固定在基片上，驱动弹性梁和检测弹性梁╳围成方框，且分别通过立柱与基片相对固定。横向隔离梁和纵向隔离梁围成的方框位于上述方框中。检测质量块位于由横向隔离梁和纵向隔离梁围成的方框中，其四▃角分别与之相连。检测电容可动电极和驱动电容可动电极分别与检测弹性梁和驱╱动弹性梁相连。检测电容固定电极和驱动电容固定电极分别固定在基ζ 片上，且分别与检测电容可动电极和驱动电容可动电『极的位置相对。本实用新型从结◇构设计上消除了机械耦︽合带来的测量干扰，提高了微机械陀螺的灵敏度，且不增加生产的工艺难度和加工成〓本，易于批量生产。
- 专利类型实用新型
- 申请人紫光股份有限公司;
- 发明人高宏;王庆;
- 地址100084 北京市海淀区清华大学紫光大厦八层
- 申请号CN200920278262.9
- 申请时间2009年12月25日
- 申请公╲布号CN201561983U
- 申请公布时间2010年08月25日
- 分类号G01P3/46(2006.01)I;
