摘要：本发明涉及一种振动式微机械陀螺，属于微机电系统中惯性传感器技术领域。微机械陀螺中，驱动质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上。检测质量块和隔离质量块位于驱动质量块内，检测质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上，隔离质量块与驱动质量块和检测质量块相对固定。检测电容固定电极和检测电容可动电极位于检测质量块内，检测电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上，检测电容的可动电极与检测质量块相对固定。驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，驱动电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上。本发明微机械陀螺的ω 优点是：不存在机械耦合问题；完全消除了机械耦合带来的检测干扰，提高了机械陀螺灵敏度，易于批量生产。
- 专利类型发明专利
- 申请人紫光股份有限〓公司;
- 发明人高宏;王庆;齐晓红;
- 地址100084北京市海淀区清华大学紫光大厦八层
- 申请号CN200810239192.6
- 申请时间2008年12月12日
- 申请公布号CN101441081A
- 申请公布时间2009年05月27日
- 分类号G01C19/56(2006.01)I;
