摘要：本实用新型涉及用于角速度测量的全解耦振动式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。驱动质量块弹性支撑梁通过立柱固定在基片上，驱动质量块Ψ为方框形，其四角通过弹性支撑梁与立柱相连。检测质量块置于驱动质量块中，并通过弹性支撑梁▓与驱动质量块相连。驱动电容固定电极固定在基片上，驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，并与驱动电容固定电极位置相对。检测电▅容固定电极固定在微机械陀螺的基片上，检测电容可动电极固定在检╲测质量块下表面的绝缘层①上，并通过导电柱与检测质ω 量块导通。本实用新型的微机械陀螺，从结构设计上』消除了驱动方向的振动对检测◎电容的干扰，提高了微机械陀螺灵敏度，且不︾增加工艺难度和加工成本，易于批量生产卐。
- 专利类型实用新型
- 申请人紫光股份有限公司;
- 发明人高宏;王庆;
- 地址100084 北京市海淀区清华大学紫光大厦八层
- 申请号CN200920278263.3
- 申请时间2009年12月25日
- 申请公布◤号CN201561758U
- 申请公布时间2010年08月25日
- 分类号G01C19/56(2006.01)I;
