摘要：本发明公开了一种基于高深宽比█纳米阵列探测微振动的方法，属于微振检测领域。该方法是：激光器经过光束整形后，从侧面入射到高深宽比纳米阵列，在另一侧形成明暗相间的衍射条纹；当高深宽比柱阵列感受到外界振动时，会发生同步摇晃振动，导致衍射条纹随之发生变化；读取衍射条纹±1级的运动轨ω 迹，得到衍射条纹的变化角度θ，根据理论力学与材⌒ 料力学的相关知识，推导出外界载荷p与角度θ之间的▼关系，从而通过检测衍射条纹变化角度θ实现〗测量外界微小振动载荷的目的。本发㊣明结构简单，易于实现系统集成。同时，与】现有探测方式相比，避免微小电信号的检◎测难度，提高探测系统的⊙精度。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人马志波;苑伟政;姜澄宇;乔大勇;孟海莎;
- 地址710072 陕西省西安市友∩谊西路127号
- 申请号CN201510125375.5
- 申请时间2015年03月20日
- 申请公布号CN104764521A
- 申请公◤布时间2015年07月08日
- 分类号G01H11/02(2006.01)I;
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