摘要：本发明为一种半导体晶片的高速荧光光谱检测装置，涉及半〇导体晶片检测装置，主要包括机架（1）、半导体晶◥片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）、光谱仪（5）、面阵CCD相机（6）、控制』计算机（7），其中，半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）和光谱仪（5）均固定在机架（1）上端，半导体晶片运动机构（2）固定在机架（1）下端，所述的半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）、光谱仪（5）、面阵CCD相机（6），在使用时▲在暗室（8）内。本发明的检测装置的优点是既能实现高速扫描半导体晶片，又可获▂得半导体晶片的荧光光谱形状、强度、峰值波长、半高宽等丰富信息。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中拓机械集团有限责任公司;
- 发明人徐杰;郭金源;
- 地址102208 北京々市昌平区科技园区华通路11号
- 申请号CN201510034852.7
- 申请时间2015年01月24日
- 申请公布号CN104568893A
- 申请公布时ξ 间2015年04月29日
- 分类号G01N21/64(2006.01)I;
