摘要：本发明涉及一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件和水洗组件，所述刻〇蚀组件和所述水洗组件安装有多个分离式传动组件，所述分离式传动组件包括安装在所述刻蚀组〒件或所述水洗组件外的第一磁力轮、安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件内且与所述第一磁力轮相对应的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构。从而可以将第一磁力轮设置在系统内部而第二磁力轮Ψ 设置在系统外部，避免了磨损而产生颗粒物，从根本▃上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的◇污染；而且有利于提高整个系统运行的稳定性，提高∞使用寿命生产效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州晶洲装备科技有限公司;
- 发明人施利君;徐鸽;
- 地址215555 江苏省苏州市常熟市辛庄ζ 镇光伏产业园光华环路32号
- 申请号CN201410829636.7
- 申请时间2014年12月26日
- 申请公布号CN104496197B
- 申请公布时间2017年02月22日
- 分类号C03C15/00(2006.01)I;
