摘要：本发明公开了一种超高▆真空环境下紧凑型高精度多维旋转机构，包括有的相互配合安装的云台旋转组件、极向旋转组件和环向旋转组件，所述环向旋转组件的云台框架与云台旋转组件的旋转云台配合安装，所述极向旋转组件的极向推动连杆从环向旋转组件ω 的环形旋杆的内部穿过，且极向推动连杆与环形旋杆配合的末端处安装有』真空容器壁或真空法兰，所述真空容器法兰使其左端云台旋转组件以及部分极向旋转组件和环向旋︾转组位于真空环境内。本发明¤结构设计合理，其结※构紧凑、占用空间小、精度高，尤其适用于等离子体物理实验装置中的诊断设备、光学调整设备、真空镀膜机内部靶板或样品台、以及各类真空和▼超高真空条件下的高精度多维旋转机构。
- 专利类型发明专利
- 申请人合肥聚能电物理高技术开发有限公司;
- 发明人李波;王晓洁;吴杰峰;刘甫坤;宋春;
- 地址230031 安徽省合←肥市董铺岛
- 申请号CN201410187093.3
- 申请时间2014年05月05日
- 申请公布号CN103982758A
- 申请公布时间2014年08月13日
- 分类号F16M11/12(2006.01)I;F16M11/18(2006.01)I;
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