摘要：本发明公开了一种芯片在线↘清洗设▅备，包括自动送料机构、浸泡式清洗装置、喷淋式清洗装置、定位台。所述浸泡式清洗装置包括浸洗柜和风切机构，浸洗柜内的设置进料传送带、出料传送带，进ξ料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，浸洗池内并排设置对应♀进料传送带的第一输料ξ 架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括同◥步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置滑动于第一输料架与第二输料◤架之间的滑板，第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应╲出料传送带将芯片拨动〓到出料传送带的料机构。本发明№可实现对芯片长时间的浸泡洗和短时间的喷淋洗，有效【去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染。
- 专利类型发明专利
- 申请人江阴迪林生物电子技术有限公司;
- 发明人白向阳;
- 地址214434 江苏省无锡江阴市砂↑山路85号B4室
- 申请号CN201210279153.5
- 申请时间2012年07月26日
- 申请公布号CN102806212B
- 申请公布卐时间2014年10月29日
- 分类号B08B3/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;
