摘要：本发明公开了≡一种芯片在线清洗设备，包括自动送料机构、浸泡式清洗装置、喷淋式清╲洗装置、定位台。所述浸泡式清洗装置包括浸洗柜和风切机构，浸洗柜内的设置进料传送带、出料传送带，进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括同步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板，第一输料架与第№二输料架之间的上部位置设置对应出♂料传送带将芯片拨动到出料传送带的料机构。本发明※可实现对芯片长时间的浸泡洗和短时间的喷淋洗，有效去除芯片表●面的大颗粒污染物以＠及微量污染。
- 专利类型发明专利
- 申请人江阴迪林生物电子技术有限公司;
- 发明人白向阳;
- 地址214434 江苏省无锡江阴市砂山路85号B4室
- 申请号CN201210279153.5
- 申请时间2012年07月26日
- 申请公布号CN102806212A
- 申请公◤布时间2012年12月05日
- 分类号B08B3/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;
