摘要：本发明涉及一种采用混合波长、平顶高斯光束进行皮秒脉冲激光加工的系统。该系统由一个皮秒激光光源、一个倍频＠ 装置，一个折转反射镜组、一个用来将普通的高斯光束整形成平顶高斯光束的非球面整形透镜组、一个扩束系统、一个可以控制移动的反射镜、一个聚焦镜、一个控制装置构成。本发明的激光加工系统可以有效的实现皮秒脉冲激光情况下的平顶高斯光束加工，来在加工件表面进行平整加工。此外，采用精密控制技术，可以有效提高平顶加工范围，实现宽范围的平整加工。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司;
- 发明人赵天卓;余锦;樊仲维;刘洋;张雪;麻云凤;闫莹;
- 地址100190 北京市海淀区中关村东路95号自动化大厦
- 申请号CN201010268576.8
- 申请时间2010年09月01日
- 申请公布号CN102380709A
- 申请公布时间2012年03月21日
- 分类号B23K26/04(2006.01)I;B23K26/073(2006.01)I;
