摘要：本发明公开了一种利用单一波长光源测量不同波长相位延迟器件的方法及其系统，属于光学测量技术领域。本系统激光光源经光分束器分为两束，一束依次经过起偏器、光调制器、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器后由结果显示单元显示输出结果；另一束输出至激光单色仪；本发明方法为：系统搭建后首先测量一组不同波长光源各自所对应的相位补偿器平移量；然后根据所测数据建立一拟和曲线；将待测相位延迟器加入到光路后，任选一波长激光光源，调节№相位补偿器，记录补偿距离ΔL；最后根据拟和曲线和补【充距离ΔL计算待测相位延迟器的相位延迟量δs。本发明可对任意中心波长的待测相位延迟器进行直接测量，而且测量↑精度高、操作简单，易于产品化。
- 专利类型发明专利
- 申请人大恒新纪元科技股份有限公司北京光电技术研究所;
- 发明人宋菲君;张颖;
- 地址100085 北京市海淀区上地信息路甲9号3号楼2层
- 申请号CN200910088316.X
- 申请时间2009年07月03日
- 申∑ 请公布号CN101592525B
- 申请公布时间2011年04月06日
- 分类号G01J9/00(2006.01)I;
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京公网※安备11010802043465号
