摘要：本发明公开了一种气体体积流量测量装置，包括压力传感器、注射泵和微处理器；待测气体＠通过气体管路一方面作用于压力传感器，另一方面连接所述的注射泵；所述压力传感器将待测气体的压力与初始压力进行╳比较，进而生成压差信号输出至所述的微处理器；所述微处理器√根据压差大小生成相应的控制信号驱动注射泵以相应的速度抽气，直到压差为零；在此过程中，注射泵将抽气时所产生的位移编码信号传输至所述的微处理器，所述ξ微处理器根据位移编码、注射泵的注射器容积以及抽气时间计算出待测气体♀的流量。本发明的气体体积流量测量装置灵敏度高，流量测『量范围宽，可靠性强，对于微流量气体体积流量的测量具有独特∮的优势。
- 专利类型发明专利
- 申请人青岛崂山应︼用技术研究所;
- 发明人何春雷;陈光成;谢传欣;崔启利;
- 地址266100 山东省青岛市李沧区福岛路195号
- 申请号CN200810249574.7
- 申请时间2008年12月26日
- 申〓请公布号CN101435712B
- 申请公布时间2010年07月21日
- 分类号G01F22/02(2006.01)I;
