摘要：本发明公开了一种气体体积流量♂测量装置，包括压力传感器、注射★泵和微处理器；待测气体通过气体管路一方面作用于压力传感器，另一方面连接所述的注射泵；所述压力传感器将待测气体的压力与初始压力进行比较，进而生成压差信号输出至所述的微处理器；所述微处理器根据压差大小生成相应的控制信号驱动注射泵以相应的速度抽气，直到压差为零；在此过程中，注射泵将抽气时所产生的位移编码信号传输至所述的微处理器，所述→微处理器根据位移编码、注射泵的注射器■容积以及抽气时间计算出待测气体的流量。本发〗明的气体体积流量测量装置灵敏度高，流量测量范围宽，可靠性强，对于微流量气体体积流量的测量具有独特◥的优势。
- 专利类型发明专利
- 申请人青岛崂山应用技术研究所;
- 发明人何春雷;陈光成;谢传欣;崔启利;
- 地址266100山东∮省青岛市李沧区福岛路195号
- 申请号CN200810249574.7
- 申请时间2008年12月26日
- 申请公布号CN101435712A
- 申请公布时间ㄨ2009年05月20日
- 分类号G01F22/02(2006.01)I;
