摘要：一种内调制型铁电非制冷红外焦平面探测器，由铁电列㊣阵1、量子阱调制器2、读出电路3和半导体热电恒温器4组成，各部分都为平面结构，通过粘接和互连工艺集成为一个整体；本发明减少了电极数量，增大了器件的填充因子，有利于缩小探测元间距；减少了光能损失，提高了器件的归一化探测率，有利于提高器件作用距离的热灵敏度；器件帧频由原来的热学结构控制变成人≡为控制，大大提高了器件的帧频，有利于器件在高帧频情况下的应用；去＠ 掉了器件的热隔离微桥结构，简化了制作工艺；增加了器件的调制功能，省〓去了外部的斩波器，降低了整机开↘发难度。
- 专利类型发明专利
- 申请人云南民族大学;
- 发明人邓芳轶;吴新社;蔡毅;王红斌;王锐;
- 地址650031云南省昆明市五华区一二一大街134号
- 申请号CN200710066481.6
- 申请时间2007年12月21日
- 申请▲公布号CN101201271A
- 申请▃公布时间2008年06月18日
- 分类号G01J5/12(2006.01);H01L27/16(2006.01);H01L23/38(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/50(2006.01);
