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内调制型铁电非制冷红外焦平面探测器

　　摘要：一种内调制型铁←电非制冷红外焦平面探测器，由铁电列阵1、量子●阱调制器2、读出电路3和半导体╲热电恒温器4组成，各部分都为平面结构，通过〒粘接和互连工艺集成为一个整体；本发明减少了电极数量，增大了器件的填☆充因子，有利于缩小探测元间距；减少了光能损失，提高了器件的归一化※探测率，有利于提高器件作用距离的热灵敏度；器件帧频由原来的热学结构控制变成人为控制，大大提高了器件的帧频，有利于器件Ψ 在高帧频情况下的应用；去掉了器件的热隔离微桥结构，简化→了制作工艺；增加了器件的调制功能，省去了外部的斩波器，降低※了整机开发难度。

专利类型发明专利
申请人云南民族大学;
发明人邓芳轶;吴新社;蔡毅;王红斌;王锐;
地址650031 云南省昆明市五华区一二一大街134号
申请号CN200710066481.6
申请时间2007年12月21日
申请公布号CN101201271B
申请公布时间2010年05月26日
分类号G01J5/12(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L23/38(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;