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                教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN101121520B
                
            
                
                
                
                    
                
                        

                        
                        
                    
                
                
                
            
                
        
                
        
                
            
                
                
                一种酸性二氧化硅溶胶及其制备方法和用途
                
                
                
                
                
                    
                　　摘要：本发明提供一种酸性二氧化硅溶胶，其特征在于：包括水和分散于水中的以硅粉为原料制得的粒径为纳米级或亚微米级的二氧化硅胶体，溶胶的pH值为1.5～3.5，铜离子含量≤50ppb。该溶胶具有高稳定性和高纯度的特点，能够适用于电子行业、半导体、硬盘、化合物晶体、精密光学器件等的化学机械抛光(CMP)，因其低铜含量特别在半导体抛光领域有优势。本发明还提供上述酸性二氧化硅溶胶的制备方法和用途。
                
                    
                    
                  
                        
                • 专利类型发明专利
                  • 
                        
                • 申请人北京国瑞升科技有←限公司;
                  • 
                        
                • 发明人许亚杰;李晓冬;
                  • 
                        
                • 地址100085 北京市海淀区上地信息路26号中关村创业大厦1017/1022室
                  • 
                        
                • 申请号CN200710119578.9
                  • 
                        
                • 申请时间2007年07月26日
                  • 
                        
                • 申请公布〗号CN101121520B
                  • 
                        
                • 申请公布时间2010年12月08日
                  • 
                        
                • 分类号C01B33/141(2006.01)I;
                  •