摘要：发明提供一种沥青抛光盘，通过在沥青中添加绒毛组分，不仅能够带动抛光物料颗粒的相对运动，增加抛光物料的运动轨迹，从而提高抛光速率，同时还能把抛光过程中电子元件表面产生的磨屑带出，具有排屑的作用；通过在沥青中添加白炭黑，可起到纳米颗粒的作用，有效提高弹性模量性能，并能够把持住其他抛光物料，进一步，在沥青、蜡、绒毛和白炭黑特定组分含量的协同作用下，有效提高成型后沥青抛光盘的强度和韧性，使不易变形，从而本发明所述▽沥青抛光盘的表面稳定性高，用于加工电子元件时，能够有效提高光㊣学元件的表面平整度和抛光精度，抛光速度快。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京国瑞升科技股份有限公司;
- 发明人苑亚斐;
- 地址100085 北⊙京市海淀区上地信息路12号1号楼C402、C406室
- 申请号CN201410678031.2
- 申请时间2014年11月21日
- 申请公布号CN105602454A
- 申请公布∩时间2016年05月25日
- 分类号C09G1/02(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I;B24B13/01(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
