摘要：一种悬浮传输装置，用于对半导体晶片以及液晶玻璃等板状的被传输物品实施悬浮传输，它包括设置在传输路径下方的风机过滤↑器单元，该风机过滤单元向着传输路径上的被传输物品喷射气流，所述的喷射气流不但使ㄨ得被传输物品悬浮起来，并且使得被悬浮◆物品沿着一定方向移动，所述的风机过滤单元还可以在被传输物品∑在悬浮移动的过程中，喷出洁净的空气流包围被传输物品。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州安泰空气技术有限公司;
- 发明人平泽紘介;周乐;渡边直树;
- 地址215011 江苏省苏州市新区玉●山路72号
- 申请号CN200710020727.6
- 申请时间2007年03月23日
- 申请公布々号CN101020539B
- 申请公布时间2011年04月20日
- 分类号B65G51/03(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;
