摘要：一种悬浮传输装置，用于对半导体晶片以及液晶玻璃等板状的被传输物品实施悬浮传输，它包括设置在传输路径下方的风机过滤器单元，该风机过滤单元向】着传输路径上的被传输物品喷射气流，所述的喷射气流◥不但使得被传输物品悬浮起来，并且使得被悬浮物品沿着一定方向移动，所述的风机过滤单元还可以在被传ぷ输物品在悬浮移动的过程中，喷出洁净的空气流包围被传输物品。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州安泰空气技→术有限公司;
- 发明人平泽紘介;周乐;渡边直树;
- 地址215011江苏省苏州市新区玉山路72号
- 申请号CN200710020727.6
- 申请时间2007年03月23日
- 申请公布号CN101020539A
- 申请公布时间√2007年08月22日
- 分类号B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/677(2006.01);
