恒奥德升版干涉仪维护以及故障检修

　　根据光的干涉原理制成的种仪器。将来自个光源的两个光束全分并，各自经过不同的光程，然后再经过合并，可显出干涉条纹。在光谱学中，应用的迈克尔逊干涉仪或法布里-珀罗干涉▆仪，可以准确而详细地测定谱线的波长及其精细结构。

　　激光干涉仪

　　激光具有强度、度方向性、空间同调性、窄带宽和度单色性等〖优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦】氖激光为光源，构成个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可▼配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

　　英文名称：laser interferometer(激光干涉仪)

　　激光干涉仪有单频的和双频的两种。[1]

　　单频激ω　光干涉仪

　　从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分『别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当〖可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由●电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响○测量结果。

　　双频激光干涉仪

　　激光干涉仪在氦氖激光器上，加上个约0.03斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激】光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的︾参考光束。另路经偏振分光镜后又分为两路：路成为仅含有f1的光束,另路成为仅含有f2的光束。当◣可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反ぷ射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提♀出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的◤测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉√冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信▆息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度▽，也可用作测长机、精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可行精度直线度测量、平面度测↘量和小角度测量

　　应用

　　干涉仪的应用为广泛，主要有如下几方面：

　　长度测量

　　在双光束干涉仪中，若介质折射率均匀且保持恒定←，则干涉条纹的移动是由两相干光〒几何路程之差发生ㄨ变化所成，根据条纹的移动数可行长度的或对测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀罗干涉仪〇曾被用来以镉红谱线的波长表示际米。

　　折射率测定

　　两■光束的几何路程保持不变，介质折射率变化也可导致光程差的改变，从而引起条纹移动。瑞利干涉仪就是通过条纹移动来对折射率行相对测量的典型干涉仪。应用于№风洞的马赫-秦干涉仪被用来对气流折射率的变化行实时观察。

　　折叠波长的测量→

　　任何个以波长为单位测∏量标准米尺的方法也就是以标准米尺为单位来测量波长的方〗法。以际米为标准，利用干涉仪可测定光波波长。法布里-珀罗干涉仪(标准具)曾被用来确定波长的初标准(镉红谱线波长)和几个次波长标准，从而通过法确定其他光谱线的波长。

　　故障检修

　　1、干涉环不◆圆正

　　原 因：

　　(1)分光板膜层面反向。

　　(2)两组出射光□　瞳错位。

　　(3)分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。

　　检修方法：分光板膜层应是入射光的第二面，如装在面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光 板，反过180°重新装入金△属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧¤的 螺钉即可消除。

　　检修方法：可调整块间隙，拖板体在∑工作状态下旋松块螺钉，左手大拇 指将拖板体向读数头方向轻推，中指◎压紧块，然后固紧块螺钉。如果仍未达到要求，调整档板与导轨的间隙达 0.02mm，再调节传动螺母上 的两只〒螺钉(老产品有四只)。

　　3、 转动粗动手轮时拖板不走。

　　原 因：

　　(1)仪器受强烈冲击后，丝杆▲向尾架方向脱出，成读数头啮合齿轮错位。

　　(2) 传动小¤齿轮固紧螺母松动， 成传动小齿轮与丝杆打滑。

　　(3)大齿轮及粗动手轮的压紧螺母松动。

　　检修方法：检查粗『动手轮压紧螺母，然后检查精密丝杆是否向尾架方向脱出，如已脱出，可松☆动尾架三只螺钉，面将丝杆推向读数头，面慢慢转动粗动手轮，后旋紧尾架三只螺钉，如果是小齿轮固紧螺母和大齿轮固紧螺母松动，拆去传◥动盒盖，再拆下门字架，固紧螺母，重新依次装配即可。

　　4、转动微动手轮时拖板不走。

　　原 因：

　　(1)传动小齿轮压紧螺母↓松，使盆形弹簧片无压紧々力，成 蜗轮空转。

　　(2)粗微动有脱开机构的干涉仪，蜗杆压紧弹簧片失灵。

　　(3)微动手轮压紧螺母松。

　　检修方法：检查微动手轮的压紧螺母。然后打开传动盒※盖，取下⊙门字架，旋紧传动小齿轮压紧螺母，使盆形弹簧片压紧蜗轮，此时转动蜗轮应带动精密丝杆，依次装好拆々下的另件。 如果□是脱开机构，应检查蜗杆拖板是否已被压死。如被压死，可拆 下左右压块，清洗、上油(7101 油脂)重新装配即〓可，如蜗杆拖板较松，说明蜗杆拖板的弹簧压力↘减小，(1)可拆下弹簧改小 R 增加弹性。(2)调换弹簧片。

　　5、转动粗动手轮时，等倾干涉环从中心向外漂移。

　　原 因：入射的光源不垂直于移动镜。

　　检修方法：此种现象，并非←仪器故障，主要是入射的光源不垂直于移动镜，因多数易误解为导轨直线性不好所致，故亦在此说←明。调整干涉仪三只☉底脚调平螺钉，使仪器基本≡按放水平，然后调整光源，使扩束激光充满固定镜，将移动镜调至零光程附近，转动粗动手轮调等倾直条纹，说明扩束激光基本垂直于移动镜，此时转动粗动手轮出现的】干涉圆环就不 会漂移。

　　维护

　　1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防◥导轨变形。

　　2、光学←零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜般不╱允许擦拭，必要擦拭时，须用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。

　　3、传动部件应有良好的润滑。别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润︼滑。

　　4、使用时，各调整部位↓用力要适当，不要强旋、硬扳。

　　5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

　　6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都⌒涂有红漆，不要擅自转动。

　　本段应用

　　(1)几何№精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。

　　(2)位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复〓定位精度、微量位〗移精度等。利用雷尼绍ML10激光＠ 干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通∩过RS232接口自动对其线性误差行补偿，比通常的补偿方』法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到佳精度，另外操作者无需具有机床参ζ　数及补偿方法的知识。

　　目前，可供选择的补偿软件有Fanuc,Siemens 800系列，UNM，Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。

　　(3)数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干◢涉仪加上RX10转台基准还能行回转轴的自动测量。它可⌒　对任意角度位置，以任意角度间隔行全自动测量，其精度达±1。新的际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多★面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到整的回转轴『精度曲线，知晓其精度的每细节，并给出按相关标准处理的统计结果。

　　(4)双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移◇动式数控机床，由双伺服驱动某轴向运动■的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别行补偿。

　　(5)数控机床动态性ζ能检测 利用RENISHAW动态性测量与评估软件，可用激光干涉★仪行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态性分析，伺服驱动系统的响应性分析，导轨的动态性(低速爬行)分析等

　　本公司主营 不锈钢︽采水器，罐底焊缝真空检测盒，读数仪，八空气微生物采样器，继电器综合测试仪，涂层测厚仪，土→壤粉碎机，钢化玻璃表面平整度≡测试仪，声音传感器，便携式电测水位计，网口▲流量计，腐蚀率仪，便携式ζ　划痕仪，凝固点∮测试仪，水质检测仪，在线氨气测试仪，涂层测厚仪，涂层测厚仪，土壤粉碎机，数显式※温度计，气体♂采样泵，陶瓷抗冲击试验机，全自动结晶点测试仪，药物凝固「点测试仪，干簧管测试仪Ψ，恒温水浴←箱≡，汽油根转，气体采样泵，钢化玻璃测试仪，水质检测仪，PM2.5测试仪，可吸入颗粒物检测仪，频热合机，应变控制三轴仪▅，牛奶体细胞检测仪，氦气浓度检测仪，土壤水分电导率测试仪，场强仪，采集箱，透色比测定仪，毛细吸水时间↙测定仪，氧化还▂原电位计 测振仪，氧化碳二氧化碳检测仪，CO2分析仪，，黏泥含量测试仪，汽车启动电源々，自动电位滴【定仪，便携式测╲温仪▲，氧化锆分析仪，干簧管测试仪，精密电导率仪，TOC水质分析仪，微电脑可塑性测定仪，风向站，全自动点样仪①＠，土壤氧化还原电位计，数字测温仪，便携式总磷测试仪，腐蚀率仪，恒温水「浴箱，余氯々检测仪，自由膨胀⊙率仪，离心杯，混凝土饱和蒸汽压装置，颗粒强度测试仪，斯计，自动涂膜机，安全阀研磨工具，气象站，动觉〒方位仪，暗适应仪，气味采集器，雨量计，四合气体分析仪，乳化液浓度计，溶解氧仪，温度测量仪，薄层㊣　铺板器，温度记录仪＠ ，老化仪，噪音检测仪，恒温恒湿箱，分体电阻率测试仪，初粘性和▆持粘性测试仪，红外二氧化碳分析仪，氢灯，动觉』方位仪，恒温动物手术台，冷却风机，油脂酸价检测仪，粘数测定仪，菌落计数器，气象站，雨量计，凯氏定氮仪，部份收※集器,荧光增♀白剂，平磨仪，燃料电池性综合试验仪，溶解仪，在线PH计，现场动平衡仪，真空阀门，盖勃ω离心机 ,声波液位变送器，阿贝折◆射仪，水质快速检测器，石油产品凝点测定仪,石油产品凝点测定仪,氧化锆氧量分析仪,污泥比︾组测定装置，扫描仪，手持式四探针测试仪,氮吹仪，个人剂量报警仪，公司秉承“顾客至上，锐意取”的经营理念，坚持“客户”的原则为广大客户提供优质的∞服务。欢迎惠顾!