无尘室无尘室的浮游微粒子浓度，若用高性能的送风系统即可达到零水平，然而实⊙际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，故造成了元件清洁面的粒子污染。无尘室内如何控制微粒子浓度呢?1、 不携入 :人、机、料进无尘室不携入微粒子(1)进入无尘室者在╲更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘◣服、帽、鞋、手套、口罩等， 再
无尘室
无尘室的浮游微粒子浓度，若用高性能的送风系统即可达到零水平，然而实际的生产〖现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，故造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内如何控制微粒子浓度呢?
1、 不携入 :人、机、料进无尘室不携入微粒子
(1)进入〗无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通过风淋室吹淋，高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完毕才能进◤入无尘室。
(2)机器、材料进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前ω室保养后用超纯水擦拭，经货淋室吹ㄨ淋或风淋传递窗吹淋后才能进入无尘室。
(3)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩≡戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
2、不发生 :无尘室内动态环境下机、料的不发生控制;
在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同⊙时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生 的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到→最小限度应采取以下对策：
(1)减少接触剥离发尘的动作形→态;
(2)采用磨耗发尘小的材质←;
(3)采用发尘小的润滑油;
3、不储备：
现实中人和物品的频繁出入及机台的掣动(动态)，无尘室要想达到动态洁净级别，因此“不储备”技术↑快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在【周边的物体表面。突发性的振动及不稳定▲的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险〖性。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由『静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本↓身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进 行除电。
4、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机∑ 台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直〖接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：
由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量⊙的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排▼气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对∮策。
