对集成电路、TFT-LCD和太阳能电池生产厂房的建设而言，洁净室系统的设计与施工是至关重要的环节。我国洁净技术市场潜力巨大，据统计，该领域市场年增长速度约为40%。今年7月，我国专门针对电子工业领域的洁净厂房设计推出的第一个国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)正式实施，在本月中旬举办的“2009中国(无锡)洁净工程高峰论坛”上，来自国内电子工程设计和建造行业的专家和企业界人士齐聚一堂，向与会听众介绍了洁净室领域的最新技术与成功案例，并对新颁布的规范进行了解读。
洁净设计新规范适应工艺发展
集成电路和新＠型显示器件的生产必须严格满足高洁净度的环境要求。据《电子工业洁净厂房设计规范》主编陈霖新介绍，45纳米极大规模集成电路生产要求控制洁净室的空气洁净度为ISO1级或2级，控制微粒粒径为0.03微米;随着集成度的不断提高、加工尺寸的日益微细化，不仅要求十分严格的空气洁净度等级，而且要确保整个产品生产过程中微粒不黏附在芯片上，芯片不受化学污染物的污染，芯片表面不受损伤，这些问题都要通过洁净技术来加以解决。作为本次◥高峰论坛的东道主，无锡市人民政府秘书长吴峰枫也在致辞中表示：“洁净工程是一项专业的带净化要求的安装♀工程，洁净工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个国家和地区科学技术水平和工业水平的重要标志。”
“目前，针对洁净室的设计，我国共有3个国家标准。除了今年7月正式实施的GB50472之外，还有《洁净厂房设计规范》(GB50073)和适用于医药工业的《医药工业洁净厂房设计规范》(GB50457)。”陈霖新表示，“随着电子工业生产技术的进步，GB50073中有关规定已不能满足需要，尤其是涉及化学分子污染物的控制以及安全、消防等方面的规定，如洁净建筑防火与疏㊣散、易燃易爆气体和化学品的贮存输送、安全消防报警设施等。因此，专门针对电☉子工业领域洁净厂房的设计规范GB50472就应运而生了。”
电子工程标准定额站站长薛长立则表示，电子工程的标准化是为了在电子工程领域获得最佳秩序，以促进最佳社会效益为目的，使相关企业遵守统一的规则。“标准规范是工程建设经验的总结，是满足安全和质量的№最低要求，工程技术人员应该以标准规范为指导，正确理解标准规范中有关条文的应用前提和适应条件。”薛长立补充道。
在电子工业洁净厂房的设计过程中，如果设计时洁净技术措施、安全消防设施等的设置要求不明确、不一致，将造成工期延误⊙或措施不当，从而使建成的洁净厂房运行效果差，影响产品质量和可靠性，严重的时候还会造╱成安全隐患。陈霖新强调：“GB50472的实施就是为了有效地避免电子工业洁净厂房设计时各专业的不协调、不完善，从而避免工程设计的差错。所有进行电子工业洁净厂房设计建造的单位和相关科技人员都应认真执行、实施规范中的强制条文、推荐性条文的各项规定，使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依、有章可循。”
从设计施工环节寻求成本优化
集成电路、新型显示器件制造是高能耗的产业，据统计，洁净室的能耗是一般写字楼的10-30倍，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上。优秀的洁净室设计不仅能节省能★源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。
陈霖新表示：“洁净技术是一门综合技术，其关键专业技术是生产工艺技术及其工艺设计、空气净化、洁净建筑以及各类产品生产所需的专业技术，如微电子产品生产所需的高纯物质———高纯水、高纯气、高纯化学品的相关专业技术等。这些专业技术在洁净室设计中〓都是必不可少的，它们之间必须密切配合，围绕着满足产品生产的需要，相互协调、统筹安排。洁净厂房的设计、建造就是要在做好各相关专业设计的基础上，做好防火、防爆、安全报警等各项安全设施，确保洁净室的安全运行;处理好≡电源、冷源、热源等动力供应，节约能源;安排好各类配管配线，确保各种流体介质的输送〓质量，减少材料消耗，方便施工安装和运行维护。”
在洁净室的设计工程中，也可以利用计算机软件对相关系统进行模拟，以确保有效地节能。在本次洁净工程高峰论坛上，世源科技有限公司总工程师秦学礼向与会人士演示了TFT-LCD洁净室的CFD(计算流体动力学)模型。据秦学礼介绍，当初世源科技承担国内第一条第6代TFT-LCD生产线设计任务的时候，由于在国内没有先例可循，国外液晶面板厂对于同行的技术封锁也●非常严密，这就促使世源公司跟国内高校合作，利用CFD软件对洁净室的气流组织、压力分布及其对洁净度的影响进行仿真设计，从而得出优化的设计结果。秦学礼同时表示，目前正在把该软件应用到国内第一条第8代TFT-LCD生产线洁净室的设计工作之中。
成本优化也体现在洁净厂房施工过程之中。作为电子工业厂房施工单位的代表，中电二公司总工程师施红平表示，由于集成电路和TFT- LCD工厂的投资额特别大，建设方希望尽快投入生产，尽早取得投资回报，因此，施工单位所面临的困难就是工期要求非常紧。成都天马微电子有限公司工程总监王磊则以TFT-LCD厂房建设为例，探讨了如何针对工程设计、采购和施工的不同阶段，实现成本的优化、进度的控制并保证施工质量。
