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　　基本概述

　　简介

　　真空泵是一种旋转式变容积气体输送泵，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感，广泛用于冶》金、化工、食品、电子镀膜等行●业。

　　发展

　　真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近 年来， 伴随着ㄨ我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉〖动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。

　　据《2013-2017年中国真空泵制╱造行业深度调研与投资预测分析【报告》数据显示[1]

　　，在我国真空泵市场上，外国『企业的进入与成功已成为不可争辩的事实，日本真空各地布点，德国莱宝在中国→扩建，美国』泰悉尔集团、韩国优成等国际著名厂家也纷纷寻找伙伴在中国建制造基地。他们的胃口很大，势有♂鲸吞真空泵市场之势。近 年来，国内虽然有一些企业逐渐崛起，在真空泵市场上占据了较为领先的地位，但是多数企业研发能力差，与国外同行⌒　相比，高端产品在技ω　术上仍处于劣势。

　　特点

　　(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;

　　(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;

　　(3)泵腔∏内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;

　　(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中■的灰尘和水蒸汽不敏感;

　　(5)压』缩比较低，对氢气卐抽气效果差;

　　(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

　　结构

　　(1)泵总体结构▽型式

　　真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

　　立式结构的〓进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳〓定性差，故这种型式多用于小泵。

　　卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空ㄨ系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排◥气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采〓用此种结构。

　　泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便♂，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮∏拆装不便，润滑机构也相对复杂⊙。

　　(2)泵的传动Ψ方式

　　真空泵的两个转子是通过一对高精度齿◥轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在□传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动▲机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转㊣　变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度ぷ，齿轮的拆装及调◤整也不便;b.整体结构不ㄨ匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一▂侧。

　　分类

　　按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括：1、液环真空泵(水↑环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真『空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真↙空泵6、余摆线真】空泵7、干式螺杆真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空∩泵10、牵引分子①泵11、复合式真№空泵12、水喷射真空泵〒13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵〓等

　　气体传输泵

　　气体传输泵是一种能是气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目＠ 的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：

　　变容↓真空泵№

　　利用泵腔容积的周期ξ　性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：

　　(1) 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做卐往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为■活塞式真空泵。

　　(2) 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运【动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：

　　① 油封◆式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空』间的一种旋转变容真空泵。这种泵通◆常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。

　　a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距◇装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽︻往复滑动且与泵壳内↑壁始终接触，此旋片随转子一起旋⌒　转，可将泵︼腔分成几个可变容积。

　　b.滑阀△式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。

　　c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面□　靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终■与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。

　　d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为▽余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成√两个可变容积。

　　e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱※动的多个独立工作室的旋片真空泵。

　　②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空※泵。

　　③液环式真●空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它◥旋转时，把液体(通常为水或▃油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。

　　④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁▲之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真⊙空泵。

　　动量♂传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地々从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。

　　(1) 分子◥真空泵：它是利用高速旋转∞的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它↑有如下几种型式：

　　① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

　　②涡轮分子ㄨ泵：泵内装▂有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

　　③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

　　(2) 喷射真空泵：它是利用文丘里(VENTURI)效应的压力降生产的高速射▓流把气体输送到出口的♀一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态】下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

　　① 液体喷射真空泵：以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。

　　② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质々的喷射真空泵。

　　③ 蒸汽Ψ喷射真空泵：以蒸汽(水、油或汞蒸汽)作为工作介质的饿喷射真空泵

　　(3) 扩散泵：以低压高速蒸汽流(油或汞○等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终↘是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

　　① 自净化↓扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专＠ 门的机械输送到←出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

　　② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多〓级油扩散泵。

　　(4) 扩散喷射泵：它是〗一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有♀喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。

　　(5) 离子传输》泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

　　气体捕集泵

　　这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体¤分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

　　吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物⌒　理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵

　　吸气剂泵：它是︻一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气◣体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。

　　吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

　　(1)蒸发离子■泵：泵∮内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气√材料上，以实ζ现抽气的一种真空泵。

　　(2)溅射离子泵：泵内√被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出ζ来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

　　低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

　　按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

　　粗真空系

　　主要用来抽除ㄨ空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真〗空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维∞护方便的特点。

　　主要用◥于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。

　　是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应♂用于化工、食品、建材等▲部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

　　无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真』空泵的更新换代产品，是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置』，实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料，便实现了先进的无油润滑。由于无污水排放→，所以该型真空泵特别适用于化工、医药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

　　高真空系

　　滑阀式真空泵

　　(Rotary Piston Vacuum Pump)

　　广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验↙等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。

　　滑阀真空★泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉∑尘的气体时，需附加装置】。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几▓倍且抽气速率大，价格相对高♂一点。

　　用来抽除密闭「容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的」前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

　　旋片式真空泵

　　( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

　　具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵㊣　，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

　　罗茨真空泵

　　( Roots Vacuum Pump )

　　是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广№泛用于冶金、化工、食品、电子△镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真∑空泵，滑阀〗真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等╲。最大罗茨真空泵保持纪录为10000L/S。