经过严格的选拔，牛津仪器等离子部凭借领先的等离子体刻蚀和沉积处理技术，赢得了多伦多大学的采购订单——最新推出的PlasmaPro Estrelas100深硅蚀刻系统。该设备是为通信技术研究所(ECTI)在大学的微纳米加工中心购买的，用于学术研◢究及培训等方面。
PlasmaPro Estrelas10深硅蚀刻技术为工业提供了领先的工艺，保持与研发市场协调发展，该系统的灵活性达到最大限度。微纳米结构作为硬件技术与Bosch™，还有低温蚀刻技术可在同一腔体内运行。
从光滑侧壁刻蚀到高速率的刻蚀工艺，PlasmaPro Estrelas10的设计保证了MEMS的应用∞泛围广，无需改变腔内硬件。
ECTI的Yu Sun教授评价， MEMS和NEMS的先进设备让ECTI更积极地开展跨学科研究，加拿大创新基金会为化学和生物微流体系统中心资助DRIE等多种重要设备，我们选择了牛津仪器的PlasmaPro Estrelas100，因为牛津仪器具有卓越的质量、功能和系统支持。
该PlasmaPro Estrelas100将用于与战略伙伴的合作研究，重点研究领域包括纳米技术和纳米材料制备，光子材料与器件，微纳米机电系统(M/NEMS)，生物技术，微纳米电子Ψ器件，集成光学，光电器件。
牛津仪器等离子体技术销售及市场总监Mark Vosloo说道，牛津仪器将继续提供适合现有的和新兴的MEMS市场的技术。结合清晰的程序和应用，我们的技术对今天和↘将来都具有影响，在MEMS的研发方面，我们拥有超过20年的经验，更了解广大客户▓的需求，提供最具创新的设备
关于牛津
牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世「界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。
具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站：www.oichina.cn www.oxinst.com
