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品　　牌：那诺-马斯特/Nano-Master

产品型号：NIE-4000（A）

制造厂商：Nano-Master

适用范围：高教

所在地区：美国

NIE-4000（A）全自动IBE离子束刻蚀产品概述：如铜和金等金属不含挥发性化合物，这些金属的刻蚀无法在RIE系统中完成。然而通过加速的Ar离ξ子进行物理刻蚀则是可能的。通常情况◥下，样品表面采用厚胶作为掩模层，刻蚀期间富有能╲量的离子流会使得基片和光刻胶过热。除非可以找到有效的方式消除热量，否则光刻胶将变得非常难以去除。

NANO-MASTER技术已经证明了可以把基片温度控制在50° C以内的同时，旋转卐晶圆片以达到想要的均匀度。

NIE-4000（A）全自动IBE离子束刻蚀产品特点：

• 14.5”不锈钢立体离子◇束腔体

• 16cm DC离子枪1200eV,650mA, 气动不锈钢遮↑板

• 离子束中和器

• 氩气MFC

• 6”水冷样品台

• 晶片旋转卐速度3、10RPM，真空步进电机

• 步进电机Ψ 控制晶圆片倾斜

• 自动上下◤载晶圆片

• 典型刻蚀速率：铜200 ?/min, 硅：500 ?/min

• 6”范围内，刻蚀〓均匀度+/-3%

• 极限真空5x10-7Torr，20分⊙钟内可达到10-6Torr级别（配套500 l/s涡轮分子泵∞）

• 配套1000 l/s涡轮分子泵，极限真空可达8x10-8Torr

• 磁控溅射Si3N4以保护被刻蚀金属表面被氧化

• 基于LabView软件的PC计算机全自动♀控制

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

NIE-4000（A）全自动IBE离子束刻蚀设备应用：

• 表面处理

• 离子铣

• 表面清洗

• 带活性气体的离子╲束刻蚀：  光栅刻蚀，以及SiO₂，Si和金属的深槽刻蚀