F-200A型半导体器件通用测试机
一、概述
F-200A半导体器件通用测试机是专为测量包括二极管、MOS管、IGBT、毫欧电阻等电子器件正向压降而设计,正向电流分为0.01-0.1A、0.1~1A、1~10A、10~200A四个档位,测量范围更广。
0.01~0.1A:小电流硅堆、(高压二极管:定制60V)、0.1A内的小电流MOS管和二极管、LED、10~100Ω电阻等测试;
0.1~10A:中小功率二极管、MOS管、0.1~1Ω电阻;
10~200A:大功率二极管、MOS管、IGBT管、0~0.1Ω电阻、开关触点压降稳定性测试
二、技术参数
1.正向脉冲电流调节范围:0.01A~200A,四个档位,每个档位步进为档位满量程的0.01%(10-200A为10mA步进)
2.脉冲宽度:300us-600us 固定值
3.开路输出电压:≥65V
4.正向压降测量范围:10mA-10A:60V;10A-200A:20V
5.正向压降测量电流电压的分辨率:
测量范围 | 测试电流 分辨率 | 测试电压 分辨率 | 压降 测量范围 |
10~100mA | 0.01mA | 1mV | 60V |
100~1000mA | 0.1mA | 1mV | 60V |
1~10A | 1mA | 1mV | 60V |
10~200A | 10mA | 1mV | 20V |
6.供电电压:AC220V±10%,50Hz
7.消耗功率:≤100W
8.工作温度:25℃±10℃
9.串口RS485通信接口
10.配电脑软件,输出特性曲线、导出图像和excel数据点
11.测试仪器可脱机独立运行
12.选配栅极测量选件,可测量栅极端口电容、栅极正反向〓漏电、测量IG/VGE、IC(ID)/VGE;选配极性自动切换选件,可自动切换电压电流正负极性;选配耐压测试盒选件,可测试zuigao5kV的器件耐压。有关选件具体信息,请咨询销售经理。
三、产品简介
测试仪器的前面板包括LED显示屏,功能按键,设定旋钮,电源开关,二极管正极负极接线端子等。
测试器件正向压降的时候,通过前面板的四线夹子,红色线夹和二极管的正极连接,黑色线夹和二极管的负极连接。触发开关为不带锁的复位按键,档按钮按下时,测试仪器输出一个设置的0.01~200A的电流脉冲,电流调节旋钮顺时针调节为增大电流,逆时针为减小电流,旋转一格,电流步进。步进值的变动范围与光标档位设定有关。
功能显示/设定1显示:当功能㊣ 选择按键(FUNC)亮时,此显示屏显示内容为正在测试项目的名称。
显示名称 | 描述 | 含义 |
VF IFD | 二端器件正向压降测试 | 给器件设定If(SET2)的电流值,读出压降并显示在测量结果上 |
RDS ON | 二端器件内阻测试 MOS管RdsON测试 | 同上,读出值为R=U/I;当回读电压值过大或者过小时,将导致测量精度下降,测量结果分别显示为HI/LO,请根据情况使用合适的测试电流。 |
GATE CAP | 测量GATE口的电容 | 同左。测量范围100pF-1μF |
IG VGE | GATE口漏电测试 | 用于测量MOS/IGBT或其他器件的栅极漏电,通过GATE口对器件的G与S(E)间施加可调的电压(0-20V),读取器件栅极的漏电。测量范围:±9999.9nA |
VGE-VCE (由于显示器件限制,此项目仅显示三组可变数字,按下SET1按键即可显示VGESET ICESET VCEACQ 表示三组数字含义) | 测试IGBT/MOSFET的Vce(Vds)压降 此时该屏显示的为VGE的设定值 | 用于测量IGBT/MOS在给定栅压与集电极(漏极)电流下,器件的管压降。在此页面设置好VGE后再按FUNC切换至RdsON时可测量该器件的导通电阻Rdson。 |
IR VR(需要安装高压选件) | 测量二端口器件的反向漏电 | 同左电压范围为0-5kV, 漏电电流测量范围为0-100Μa |
按下FUNC按键时,该显示屏显示的内容将按上表轮换显示。当所需的选件没有安装时,对应功能将跳过显示。
功能显示/设定1显示:当菜单按键(MENU)亮时,此显示屏显示内容为设置菜单项。
显示名称 | 描述 | 含义 |
RS485 | 485通讯端口协议选择 使用设定旋钮选择 | 为适配/兼容多种上位机软件协议,该选项可能有多个可选值,可选值的数量随不同机器而不同。 |
BAUD | 485端口波特率设定 使用设定旋钮选择 | 该选项与RS485通讯口协议选项有关。部分选项无此功能。 |
ISCALE | 上位机设定电流比例调节 使用设定旋钮选择 可选范围为10k:1 – 1:1 左侧数值为上位机设定值(A) 右侧为机器的实际输出(A) | 该选项与RS485通讯口协议选项有关。部分选项无此功能。 |
BRIGHT | 显示屏亮度设定 使用设定旋钮选择 | 设定显示屏亮度,范围0-7 |
IP(需要安装以太网选件) | 设置以太网接口的固定IP地址,使用设定旋钮/光标切换 如DHCP功能打开时,此菜单项显示DHCP获取到的ip地址 | |
DEST(需要安装以太网选件) | 显示远端正在连接的设备ip地址 | |
DHCP(需要安装以太网选件) | 使用设定旋钮选择0(固定ip)与1(DHCP获取ip) | |
PORT(需要安装以太网选件) | 设定机器提供通讯的端口号 使用设定旋钮/光标◤切换修改 | |
OPT | 机器已安装选件 | 部分机器固件无此选项 |
CALPWD | 校准密码输入 使用设定旋钮/光标切换修改 正向电压回读校准密码: 123456 正向电流设定校准密码: 654321 | 输入密码后按触发按键, 结果将显示 Vfcal(电压校准确认) IFcal(电流校准确认) PWDERR(密码错误) |
VFCAL0-VFCAL9 | 当CALPWD的密码输入123456时,按MENU键进入此菜单。此时VFCAL*下光标点亮,使用设定旋钮选择VFCAL项。通过SET1/SET2按键选择修改修正项或是修正值,具体用法见电压校准章节。 | |
IFST00-IFST39 IFCA00-IFCA39 | 当CALPWD的密码输入654321时,按MENU键进入此菜单。此时IFST**下光标点亮,使用设定旋钮选择IFST/IFCA项。通过SET1/SET2按键选择修改修正项或是修正值,具体用法见电流校准章节。 | |
FWUPD | 固件升级,通过RS-485口实现免拆功能升级操作。 |
*由于本机新功能仍处于开发阶段,因此新版固件将可能提供更多功能。有关详细信息,请咨询销售人员
按下MENU按键时,该显示屏显示的内容将在设置菜单项间轮换。
设定2显示屏:
功能设定显示名称 | 设定2显示屏的内容 | 含义 |
VF IFD | 设定电流值 通过光标切换按键切换步进 通过量程切换按键换挡 通过正负切换按键切换极性 (需要正负切换选件) | 给器件设定If(SET2)的电流值 |
RDSON | 同上 | 同上 |
GATE CAP | CAP | 无 |
IG VGE | 设定VGE电压值 | 用于测量MOS/IGBT器件的栅极漏电,对器件的G与S(E)间施加可调的电压 |
VGE VCE | 设定器件正向脉冲电流ICE | 同左 |
IR VR(需要安装高压选件) | 同左电压范围为0-5kV, 漏电电流测量范围为0-100μA |
结果显示屏:
功能设定显示名称 | 结果显示屏内容 | 含义 |
VF IFD | 测试的器件正向压降 当压降大于20V时将显示OL | |
RDSON | 测试器件的正向内阻 当电流值不合适时,将导致采集的正向压降过小或过大,精度降低,此时将显示LO 或HI | |
GATE CAP | 电容值 | GATE口检测到的电容值 超范围的电容值将显示------ 根据测得的容量大小自动切换档位 |
IG VGE | 栅极漏电流大小,即为GATE接口中芯电流大小 | |
VGE VCE | 测试的器件正向压降 当压降大于60V显示OL | |
IR VR(需要安装高压选件) | 测试的器件反向漏电 当漏电大于100μA时将显示OL |
脚踏开关和正面板上的触发开关并联,二者功能一致;
LAN口为保留的以太网测试接口,留作升级使用。
RS-485为计算机通讯口
外置选件接口用于连接外☆置使用的选件(例如高压漏电测试选件)
220V供电口接入电源。
四 测试示例:
1.测量二极管在规定正向电流IF的正向压降VF
连接方法:
使用随机的开尔文测试夹正向连接二极管,若当前功能不是VF IFD功能按下FUNC按键直到SET1显示 VF IFD。
使用RANGE切换电流档位,使用左右按键切换调节步进值,使用黑色大旋钮设定需要设定的正向电流IF值。设定好需要的值后,按下TRIG金属按键,读取RESULT上的结果。注意若使用10-200A档位测出的电压〗若大于20V将不可信。
2.测量IGBT内反向二极管/NMOSFET寄生二极管在给定的正向电流IF下的压降VFd:
操作方式与1.测试二极管IF的测量方式完全一致。并使用一条电线将待测器件的GE(GS)短路。
注意,对于P沟道MOSFET,应互换红色/黑色开尔文夹。
3.测量电阻器件在规定正向电流IF的电阻值Rf
连接方式:
使用随机的开尔文测试夹正向连接待测电阻,若当前功能不是RDS ON功能按下FUNC按键直到SET1显示 RDS ON。
使用RANGE切换电流档位,使用左右按键切换调节步进值,使用黑色大旋钮设定需要设定的正向电流IF值。设定好需要的值后,按下TRIG金属按键,读取RESULT上的结果。
若结果显示LO,则表示当前测量电流过小,计算精度低。应使用更大电流测试。反之亦然,若结果显示HI,则表示电流过大,应使用更小电流测试。注意,若使用了10-200A档位,应首先用FUNC键切换至VF IFD模式测量压降,确定在该档位下器件电压降不超过20V,否则测量结果不可信。
4.测量MOSFET/IGBT在规定的偏压VGE下的栅极漏电IG
连接方法:
使用随机的BNC-夹子线连接至机器的GATE口 另一端连接至待测器件;若测正向漏电流,则红色夹子连接至栅极G,黑色夹子连接至发射极E或源极S。若测量反向漏电时可颠倒连接。按FUNC键将功能选择至IG VGE,旋动黑色大旋钮即可粗略设定栅极电压VGE,此时RESULT即可读出粗略的漏电流IG。若要精确测量漏电流IG,应先断开红色夹子与器件栅极连线。按FUNC键,在VGE-VCE功能精确设定VGE值,再按FUNC键切换至IG-VGE功能。此时IG可能读出一个较小的漏电值,这是导线的漏电影响。多次按下SET2执行清零操作,直到此时漏电流显示为0。再将红夹子连接至待测器件栅极即可精确读取漏电流值。
测量电容器电容前应先将电容器短路放电。放电后如图所示连接即可测量。根据测量的结果不同,显示结果将自动切换档位
5.测量IGBT/MOSFET管在规定的VGE(VGS)管压降
如图所示连接。使用随机的BNC鳄鱼夹线连接至GATE与待测器件的GE(GS);开尔文夹□红色夹连接至器件集电极C(漏极D),开尔文夹黑色夹连接至器件发射极E(源极S)。
按FUNC按键,直到显示跳转为VGE-VCE模式(由于显示器件位数限制,无法显示VGE-VCE。因此应切换︻至如上图所示的三组数字模式)。按下SET1,显示将变成
VGESET ICESET VCEACQ 表示对应的三个数字分别为栅极电压设置/集电极电流设置/VCE电压采集值。
按下SET2,可轮换选择需修改的参数(VGE/ICE)。当前选中的参数下方LED将会发光。使用左右按键与黑色旋钮设定测量的参数,按下金属开关□ TRIG即可测量。
注意,若测试P沟道MOSFET,图中的红黑夹子极性应全部颠倒。
五 校准方法:
0.校准操作不建议用户操作。若有需求,请与厂家联系。
1.按MENU ,选至CALPWD选项,使用旋钮与光标设置密码为123456,再按MENU,此时SET1显示VFCAL0
2.按面板set2 切换至vfcal0的参数值设置为10左右;
3.按面板set1 光标切换回vfcal0使用旋钮切换至vfcal1,
重复第二步,将vfcal1的值设定为约20800;
4.OUTPUT的中间红黑两个端子用线短路,切换校准点至vfcal0,修改set2的值,令result的电压值为0.0V
5.切换至vfcal1,去掉短路线,并将短路线短路的红黑端子输入2.000V的准确电压,或者精确的2V附近的电压即可,调节vfcal1的值,令result的值与实际输入的电压一致。
6.其他点参考第5项进行校准,推荐每2V进行校准。VFCAL0-VFCAL9的校准电压必须单调增大,不可忽大忽小,否则将导致校准错误。
7.若校正时发现无法校准,或校准值间偏差过大,则可能是设备故障,需要返厂送修。
电流设定校准方法:
注意,电流校准应在电压校准后进行。
电流校准方法与电压相似,需要准备100欧姆、1欧姆、0.047欧姆的精密电阻,阻值类似也可,需要保证足够的精度。
1.按MENU ,选至CALPWD选项,使用旋钮与光标设置密码为654321,再按MENU,此时SET1显示IFST00
2.按面板set2 切换至ifst00的参数值设置为0.01A;
3.按面板set1 光标切换回ifst00使用旋钮切换至ifca00,
用四线测试夹子接入100欧电阻,按触发按键,调节ifca00的值(约55000),使得结果显示的电压为ifst00的电流值乘外接电阻。
4.其余点同上,ifstxx 为要校正的点的电流设定值,ifcaxx为该点的校正参数。共40个校准点,每个档位10个校准点。
例如ifst00 –ifst09 分配给0.01A-0.1A档位,ifst10-ifst19分配给0.1A-1A档位。
5.推荐均分电流点进行校准,校准电流必须单调增大,不可忽大忽小,否则将导致校准错误。
六 电脑连机测试步骤
①连接测试仪器后面板上的DB9和USB转RS485转接线;
②USB转RS485转接线和电脑连接;
③使用四线测试夹红色连接二极管阳极,黑色连接二极管阴极;
④打开电源开关;
⑤打开电脑程序;
⑥程序操作读取曲线;
⑦由于软件版本较早,暂只支持器件的电流-压降测试曲线。
七 软件操作步㊣骤:
①例:测量二极管正向压降曲线,电流0-10A;
②打开电脑程序图标
“二极管正向压降测试仪”;
③选择串口号,通过硬件管理,可以串口号;
④点击图标按钮打开串口;
⑤设置采样速率,0.1Hz~10Hz;低频测试器件温升小,高频测量速度快,可根据需要选择;注意,当测量电流大于10A时,脉冲频率不可高于3Hz,否则结果不可信。
⑥脉冲宽度任意选择
⑦输入起始电流0A;终止电流为1000A;扫描点数为1~1000点(由于该软件早于仪器开发,其设定电流范围为0-3000A,且测量点数不能高于起始电流差值)。
⑧打开测试仪电源开关,按MENU键选择至ISCALE项目,选择该项目的值为100:1,即上位机设定1000A将除以100,实际测试电流为0-10A;
9格式的图片和excel格式的数据,如图4所示。
八 注意事项
1、本∩测试仪请勿在测试仪上试图连接电池电源类器件,有可能损坏内部器件。
2、应保证本测试仪工作在规定的供电电压和温度条件下,保证测量准确度。
3、本仪器内有高压,非专业人员请勿擅自开启外壳,当心触电。仪器zuida输出电压大于60V,谨防触电。
4、本仪器连接时务必按照示例图连接。GATE红线切勿与开尔文夹子线的红线碰触,否则可能烧毁仪器。
九 固件升级
本测试仪支持不拆机升级内部程序☆软件。操作方式为开机后按MENU键选择至FW UPD模式,按下TRIG按键后进入固件升级模式。
也可以开机前同时按下RANGE 与左键再开机,本机将进入固件升级模式,使用支持xmodem协议的串口终端软件上传固件即可。有关详细信息请咨询厂家。
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