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该款探针台是一款高性能型，低漏电流达~10fA, 根据需要有多种option供选择.
规格＆应用:
- 8英寸真空低噪音卡盘.
- X,Y转台：行程200mm x 200mm, 分辨率：5um
- Z轴 ： 15mm
- 旋转角：可微调控制
- 显微镜&CCD: 可达~1000X
- 定位器： 微型定位器主体单元 PB100.
针座〖分辨率，1um 行程：13mm.
- 选项：暗箱；防震台；加热卡盘........
