规格＆应用：
- 80mm卡盘
- 低漏泄电流-10fA以下
- 陶瓷背部：用于背部偏置或隔离 MBG25,MBG40
- 真空范围：1x10E 3 or 6 torr
- 温度范围：77K~570K，LN2（温度选项：770K可用）
- 260(10K)~300(570K),780K,1000K.氦气
- 显微镜＆CCD摄像机
- 真空定位器支架
- 真空泵及计量系统
- 有多种Option可供选配：多通道气体导入，RF探针，激光或光谱光照，真空样品转移盒.......
- 根据用户需求也可定制
