随着半导体技术的电子技术工艺的发展，电子产品都往小型化，轻薄化发展①。iWatch的一经推出，穿戴电子产品成为了一个新的电子设〒备应用潮流。随着电子产品的小型化，器件体积越做越小，空间就紧凑起来，这对器件加工尺寸及工艺的卐容差要求就越来越高。如何管控器件的尺寸及加工工艺对检测手段提出了新※的挑战。原来很多制程工序只要管控2D的尺寸，现在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米级别，这就需要一个高速、高精度的测量手段来管控生产品∑ 质。
卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生，这款仪器采用非接触式线光谱⊙共焦快速扫描技术，能够高精度还原产品∮的3D结构，对肉眼不可见的结①构缺陷都能准确检测。因为具有较快ㄨ的扫描速度，微米级别的精度和稳定性，一经推出立马成为精密生产商的新宠。在精密铸◢件、精密点胶、3D玻璃，半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测，就是这款产品的主要应用领域。
卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发，3D形貌※测试仪就是常年实践积累的成果（利号：CN207556477U）。该项技术，具有ぷ以下优点：
技术 | 线性共焦光谱技术 | 点测技术 | 激光扫描 | 3D相机 |
速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照【快 |
扫描宽度 | 6.5mm/20mm | 点 | 可选 | 大 |
分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
界面层数 | 多层 | 多层 | 表面 | 表面 |
建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
数据量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
三维表面形貌测量仪主要特点有：
1、非接触性测¤量；
2、线扫描，效率高
；
3、微米级精度；
4、满足透明面及高对比度表面测试；
5、支持二次开发；
三维表面形貌测量仪主要应用
1、精密部件3D尺寸及段■差测试；
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；
3、3D玻ω璃缺陷检测；
4、半导体表面缺陷测试；
5、多层薄▲膜厚度测试；
3D形貌↓测试仪产品型号及规格
HawkEye-1300 | HawkEye-5000 | |
方式 | 共焦光谱 | 共焦光谱 |
精度 | 1um | 8um |
重复性 | ±0.3um | ±4um |
线扫宽度 | 6.5mm | 20mm |
Z轴量程范◆围 | 1.3mm | 5mm |
扫描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
重量 | 5Kg | 8Kg |
尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |
