1、本产品采用气相法制备石墨烯材料方式，采用微波热等离子体技术，适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产。
2、本产品等离子生长腔体采用洁净石英管结构，避免生产过程中的杂质污染，确保产品品质。
3、本产品设计连续气相生长功能，采用顶部4路进气混气，底部排料的结构。
4、本产品采用真空和微正压系统设计，反应室与外界密封设计，适合微波等离子体状态。
5、本产品设置真空管路和防爆泄压结构，支持真空、气氛和微正压环境。
6、本产品采用微波等离子体技术 ，功率智能调节，工艺性更稳定。
7、本产品采用PLC程序控制，触摸屏操作，工艺路线可实现自动化控制，工艺数据可读取。
产品名称 | 气相石墨烯生长炉 |
型号 | MCG-M10HBP |
技术原理 | 微波等离子体（MPCVD） |
设备形式 | 立式管道型，多路气氛，高真︼空密封 |
进出料形式 | 进料：气态/ 出料：固态 |
反应⌒区尺寸 | Φ200*500 mm |
微波系统 | 微波功率10kW/2450MHz，系统水冷 |
产成品 | 石墨烯粉体，产量和特性依据具体工艺要求 |
监控视窗 | 垂直三个观察窗 |
控制方式 | PLC控制系统，彩色Ψ 触摸屏操作，多参数显示 |
安全措施 | 产品气体管路系统防爆设计 |
微波防护 | 微波泄漏量：<5mW/cm2 (国标） |
设备外尺▅寸 | 900×900×1700mm（长×宽×高） |
